| 发明名称 |
Regeneration process of etching solution, etching process, and etching system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1403907(B1) |
申请公布日期 |
2006.04.05 |
| 申请号 |
EP20030020972 |
申请日期 |
2003.09.16 |
| 申请人 |
M. FSI LTD. |
发明人 |
IZUTA, NOBUHIKO;MURATA, MITSUGU |
| 分类号 |
H01L21/311;C09K13/04;H01L21/00;C23F1/46 |
主分类号 |
H01L21/311 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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