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发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR ELECTROMECHANICAL TESTING AND VALIDATION OF PROBE CARDS
摘要
申请公布号
EP1642145(A2)
申请公布日期
2006.04.05
申请号
EP20040756506
申请日期
2004.06.30
申请人
FORMFACTOR, INC.
发明人
MILLER, CHARLES, A.;HREISH, EMAD, B.
分类号
G01R35/00;G01R;G01R1/00;G01R1/073;G01R31/02;(IPC1-7):G01R31/02
主分类号
G01R35/00
代理机构
代理人
主权项
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