| 发明名称 | 激光束均匀照射的光学系统 | ||
| 摘要 | 激光束均匀照射的光学系统，包括：把来自光源的激光束在空间上分割为分割束的波导；把分割束重合照射在照射面上的重合用透镜；使照射面上的光束强度均匀的延迟板。波导使分割束宽度为激光束截面上的空间干涉距离的1/2倍以上；延迟板使分割出的彼此相邻的分割束间延迟比该激光束的时间的干涉距离还长，减轻照射面上的干涉。另一光学系统包括：把激光束分割为分割束的激光束分割部件；把分割束重合照射在照射面上的重合照射部件；使照射面上的光束强度均匀的均匀化部件。均匀化部件包括：使分割出的彼此相邻的分割束之间延迟比该激光束的时间的干涉距离还长的光学延迟部件，还可包括：使分割出的彼此相邻的分割束之间偏振方向实质上正交的旋光部件。 | ||
| 申请公布号 | CN1249483C | 申请公布日期 | 2006.04.05 |
| 申请号 | CN03108378.1 | 申请日期 | 2003.03.28 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社 | 发明人 | 岡本達樹;森川和敏;佐藤行雄;西前順一;小川哲也 |
| 分类号 | G02B27/10(2006.01);G02B27/28(2006.01);H01L21/324(2006.01);H01S3/00(2006.01) | 主分类号 | G02B27/10(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
| 主权项 | 1.一种激光束均匀照射的光学系统，包括：把来自激光光源的激光束在光束截面中、在空间上分割为分割束的激光束分割部件；以及把分割束重合照射在照射面上的重合照射部件；其特征在于：所述激光束分割部件为波导或柱面透镜阵列，所述重合照射部件包括复制透镜，以及所述激光要分割部件设置在所述重合照射部件的上游侧，使所述分割束的宽度大于、等于激光束截面的截面方向的空间干涉距离的1/2倍。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||