发明名称 Manufacturing method of synthetic silica glass
摘要
申请公布号 EP0908418(B1) 申请公布日期 2006.04.05
申请号 EP19980119055 申请日期 1998.10.08
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 FUJIWARA, SEISHI;KOMINE, NORIO;JINBO, HIROKI
分类号 C03B19/14;C23C16/24;C03B8/04;C03B20/00;C23C16/44;C23C16/448 主分类号 C03B19/14
代理机构 代理人
主权项
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