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发明名称
METHOD FOR PRODUCTION OF AN INTEGRATED CIRCUIT ARRANGEMENT WITH LOW-RESISTANCE CONTACTS
摘要
申请公布号
EP1642331(A1)
申请公布日期
2006.04.05
申请号
EP20040741717
申请日期
2004.06.02
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
HOFMANN, FRANZ;LUYKEN, RICHARD JOHANNES;ROESNER, WOLFGANG;SPECHT, MICHAEL
分类号
H01L29/417;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L29/417
代理机构
代理人
主权项
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