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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING LOW-K DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号 EP1642329(A1) 申请公布日期 2006.04.05
申请号 EP20040741702 申请日期 2004.06.02
申请人 DEGUSSA GMBH 发明人 KUEHNLE, ADOLF;JOST, CARSTEN;RAULEDER, HARTWIG;RENTROP, CORNE;VAN DAM, ROELANT;TIMMER, KLAAS;FISCHER, HARTMUT
分类号 H01L21/316;C09D183/04;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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