微熔断器

摘要

一种用于半导体器件的微熔断器。该熔断器包括一个绝缘基片和一个细长金属熔断元件，该熔断元件的一端支撑在基片上并包括至少一个熔断区，该熔断区悬置，与基片不接触，其形状被加工成在使用时能够向其施加一个预定的电流使其不导电。在熔断元件的熔断区和绝缘体之间能够形成至少一个阻挡。该熔断元件可以用容易氧化的金属形成，例如钛、钨、钽、铜或铝。熔断元件可以具有两个或多个熔断区，相邻熔断区之间的区域被金属导轨支撑。在这种实例中，熔断元件还可以通过一个或多个夹层支撑在基片上。

主权项

1.一种用于半导体器件中的微熔断器，该微熔断器包括：绝缘基片；以及细长金属熔断元件，该熔断元件在基片上以一个端部支撑，并且包括至少一个悬置的、不与基片接触的熔断区，其形状被加工成在使用时能够向其施加预定的电流使它不导电。