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发明名称 METHOD OF FORMING INSULATION LAYER IN TRENCH ISOLATION TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100568100(B1) 申请公布日期 2006.04.05
申请号 KR20010011142 申请日期 2001.03.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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