TRAPS FOR PARTICLE ENTRAPMENT IN DEPOSITION CHAMBERS,申请号EP20040751945-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	TRAPS FOR PARTICLE ENTRAPMENT IN DEPOSITION CHAMBERS
摘要
申请公布号	EP1642328(A1)	申请公布日期	2006.04.05
申请号	EP20040751945	申请日期	2004.05.11
申请人		发明人
分类号	C23C14/56;C23C16/44;H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/302	主分类号	C23C14/56
代理机构		代理人
主权项
地址

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