用于封装一衬底的方法及装置

摘要

本发明揭示一种用于一干涉式调制器的封装结构及封装方法。在一干涉式调制器及透明衬底上沉积一薄膜材料来囊封所述干涉式调制器。该干涉式调制器与该薄膜之间的一间隙或空腔提供一使得该干涉式调制器的机械部件可在其中移动的空间。该间隙是通过移除一沉积于该干涉式调制器上的牺牲层来形成。

主权项

1、一种显示装置，其包括：一透明衬底；一干涉式调制器，其经配置以对透射穿过所述透明衬底的光进行调制；及一薄膜背板，其设置于所述调制器上并将所述调制器密封在所述透明衬底与所述薄膜背板之间的一封装内。