操作数字质量流量控制器的系统和方法

摘要

本发明涉及操作数字质量流量控制器的系统和方法，本发明的质量流量控制器包括传感器(12)。应用这种传感器监测在气体输送线内的质量流量。此外，这种传感器还给连接到传感器的电子控制系统(16)提供输出(15)。电子控制系统基于传感器的输出确定预期的质量流量。该电子控制系统还应用控制信号调节控制阀(22)以调整流经控制阀的第一气体流量。

主权项

1.一种质量流量控制器，包括：流量传感器；电子控制系统，所述电子控制系统进一步包括：耦合到所述流量传感器的输出的处理器，其中所述处理器执行软件以使用为质量流量控制器确定的一组唯一的系数从所感测的变量来计算正确的流量，其中所述唯一的系数基于校准器提供的每个设置点；存储器，耦合到所述处理器用于存储唯一的系数；和通信端口，可操作地将所述电子控制系统耦合到网络系统；以及从电子控制系统中接收控制信号的控制阀，其中应用该控制信号来通过控制阀调节第一气流。