用于干涉式调制器阵列的导电总线结构

摘要

本发明揭示一种干涉式调制器的多个实施例，这些实施例具有各种增强和特征，包括一导电总线。在某些实施例中，所述干涉式调制器具有一悬置在一第二电极层上方的第一导电层。在某些实施例中，在所述第一导电层上方提供一第二导电层。所述第一导电总线及/或第二导电总线之一可进一步连接至所述第一电极层及/或所述第二电极层。所揭示的其它特征可包含在所述干涉式调制器的实施例内，以改善响应时间、功率消耗、和图像分辨率。

主权项

1、一种装置，其包括：一衬底；一位于所述衬底上的第一电极层；一位于所述衬底上的第二电极层；一反射性表面，其基本上平行于所述第一电极层且耦接至所述第二电极层，所述反射性表面可沿一基本上垂直于所述反射性表面的方向移动，所述反射性表面可在一第一位置与一第二位置之间移动，所述第一位置距所述第一电极层一第一距离，所述第二位置距所述第一电极层一第二距离；及一导电总线层，所述导电总线层的至少一部分电耦接至所述第一电极层与所述第二电极层中的至少一个电极层，其中所述反射性表面响应一施加在所述导电总线层上的电压而在所述第一位置与所述第二位置之间移动。