| 发明名称 | 具吸附气体功能的装置 | ||
| 摘要 | 一种具有吸附气体粒子功能的装置，该装置为承载集成电路制造。液晶显示器制造的光罩、晶圆或面板的盒子。一气体吸附单元配置于上述盒子中，其用来吸附气体污染物以避免上述光罩或晶圆与上述气体污染物作用而影响光罩的图案分布或形成于晶圆或面板之中的组件的良率。其中上述气体吸附单元包含气体吸附材料配置于其中用来吸附气体污染物。 | ||
| 申请公布号 | CN2770087Y | 申请公布日期 | 2006.04.05 |
| 申请号 | CN200420013106.7 | 申请日期 | 2004.12.23 |
| 申请人 | 陈雅柔;李惠君;金华婵;吴彩凤 | 发明人 | 傅祖龙 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);H01L21/00(2006.01);G02F1/13(2006.01);B01D53/14(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 东莞市隆天连邦知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李杰 |
| 主权项 | 1、一种具有吸附气体粒子功能的装置，该装置为承载集成电路制造的光罩运输盒、光罩盒、光罩储存柜、晶圆盒或面板盒的容器，其特征在于：一气体吸附单元配置于该容器中，其用来吸附该容器内的气体粒子；其中该气体吸附单元包含气体吸附材料配置于其中用来吸附该气体粒子。 | ||
| 地址 | 台湾省彰化县鹿港镇永靖路225号 | ||