| 发明名称 |
DETECTOR SYSTEM FOR A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE WITH A CORRESPONDING DETECTOR SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1642313(A2) |
申请公布日期 |
2006.04.05 |
| 申请号 |
EP20040740146 |
申请日期 |
2004.06.22 |
| 申请人 |
CARL ZEISS NTS GMBH |
发明人 |
JAKSCH, HEINER;BIHR, JOHANNES |
| 分类号 |
H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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