| 发明名称 |
Dummy copper deprocessing |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1465243(A3) |
申请公布日期 |
2006.04.05 |
| 申请号 |
EP20040075795 |
申请日期 |
2004.03.11 |
| 申请人 |
FEI COMPANY |
发明人 |
HUYNH, CHUONG T.;BASSOM, NEIL J. |
| 分类号 |
H01J37/30;H01L21/311;C23F4/00;H01J37/305;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52 |
主分类号 |
H01J37/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
