发明名称 |
晶圆测量系统 |
摘要 |
一种晶圆测量系统,提供一种改善的承载装置、而且能减少测量机台占用的空间。该晶圆测量系统包括一探针机台、一承载装置、及一高频测量设备。该探针机台包括有一基座、一探针平台、一对分别放置于探针平台两侧的探针支架、一置于这对探针支架中间的晶片夹座、及一显微观测装置;该承载装置包括有一位于该探针支架的上方的刚性平板,及多个支柱,该刚性平板设有一凹口供该显微观测装置观测;该高频测量设备至少包括一放置于该刚性平板上的自动调整器,及一穿过凹口并连接自动调整器到探针支架的信号连接线。 |
申请公布号 |
CN1755910A |
申请公布日期 |
2006.04.05 |
申请号 |
CN200410083471.X |
申请日期 |
2004.09.29 |
申请人 |
立积电子股份有限公司 |
发明人 |
吴经国;王是琦 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01);G01R31/26(2006.01);G01R31/28(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01) |
代理机构 |
上海新高专利商标代理有限公司 |
代理人 |
楼仙英;竺明 |
主权项 |
1、一种晶圆测量系统,包括:一探针机台,包括有一基座、一置于该基座上的探针平台、一对分别放置于该探针平台的两侧探针支架、一设置于这对探针支架中间的晶片夹座、及一放置于该晶片夹座上方的显微观测装置;一承载装置,包括有一个位于该探针支架的上方的刚性平板、及设于该刚性平板下方的多个支柱,该刚性平板设有一凹口供显微观测装置观测;及一高频测量设备,至少包括一自动调整器,该自动调整器放置于该刚性平板上的,及一穿过凹口并连接自动调整器到探针支架的信号连接线。 |
地址 |
台湾省台北市 |