发明名称 | 电容式动态量传感器 | ||
摘要 | 在电容式动态量传感器中,在垂直于预定变形方向的方向延伸的横梁部分(22)中的横梁的宽度(B)与设置在可移动电极(24)和固定电极(32,42)之间在预定变形方向上的缝隙(D)基本上一致。因此,防止了制造误差对该电容式动态量传感器的灵敏度的影响。例如,由于将该横梁的宽度和该缝隙设计成长度一致,允许有±2.5%的制造容限误差。 | ||
申请公布号 | CN1249404C | 申请公布日期 | 2006.04.05 |
申请号 | CN03103740.2 | 申请日期 | 2003.02.18 |
申请人 | 株式会社电装 | 发明人 | 酒井峰一 |
分类号 | G01D5/241(2006.01) | 主分类号 | G01D5/241(2006.01) |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 夏青 |
主权项 | 1.一种电容式动态量传感器,包括:横梁部分(22),它具有基于物理力的施加、用于在预定变形方向(Y)上进行变形的横梁;可移动电极(24),它与该横梁部分一体形成以便随其移动,并且它沿着垂直于该预定变形方向的方向延伸;以及固定电极(32,42),面对该可移动电极,并且在该预定变形方向上与该可移动电极隔开预定的缝隙(D);其中,该横梁在垂直于该预定变形方向的方向上延伸的宽度(B)和该缝隙是一致的。 | ||
地址 | 日本爱知县 |