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发明名称
METHODS OF FORMING A PHOSPHORUS DOPED SILICON DIOXIDE LAYER
摘要
申请公布号
EP1641958(A2)
申请公布日期
2006.04.05
申请号
EP20040777377
申请日期
2004.06.30
申请人
发明人
分类号
C23C16/04;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/316;H01L21/762;(IPC1-7):C23C16/40
主分类号
C23C16/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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