发明名称 METHOD OF FORMING GATE OXIDES OF SEMICONDUCTOR DEVICE WITH DIFFERENT THICKNESS FROM EACH OTHER
摘要
申请公布号 KR20060028992(A) 申请公布日期 2006.04.04
申请号 KR20040077939 申请日期 2004.09.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, SEONG GEON;KANG, SANG BOM;SHIN, YU GYUN
分类号 H01L21/8242;H01L21/31;H01L21/336;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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