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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR CLEANING OF CMP SLURRY SUPPLYING TUBE
摘要
申请公布号
KR20060028941(A)
申请公布日期
2006.04.04
申请号
KR20040077859
申请日期
2004.09.30
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KANG, GYEONG BIN
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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