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发明名称 VOICE WARNING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060028987(A) 申请公布日期 2006.04.04
申请号 KR20040077932 申请日期 2004.09.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 BAE, JONG IL
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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