COOLING APPARATUS FOR DIFFUSION EQUIRMENT,申请号KR20040077882-传众专利搜索

发明名称	COOLING APPARATUS FOR DIFFUSION EQUIRMENT
摘要
申请公布号	KR20060028955(A)	申请公布日期	2006.04.04
申请号	KR20040077882	申请日期	2004.09.30
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	KIM, JUNG NAM
分类号	H01L21/22	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
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