发明名称 Method for improving Photoluminescene of ZnO thin films by a low energy ion beam surface treatment
摘要
申请公布号 KR100566917(B1) 申请公布日期 2006.04.03
申请号 KR20030089429 申请日期 2003.12.10
申请人 发明人
分类号 H01J37/00 主分类号 H01J37/00
代理机构 代理人
主权项
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