闸极、薄膜电晶体以及画素结构的制作方法

摘要

一种闸极的制作方法。首先，于一基底上形成一图案化之罩幕层，其中罩幕层系暴露出一预定形成闸极之区域。接着，于罩幕层所暴露之区域中形成一闸极。然后，移除罩幕层。此闸极的制作方法可使闸极之侧壁维持良好的阶梯状，而应用于薄膜电晶体以及画素结构的制程时，可使后续沉积之膜层具有较佳之覆盖性，并可避免闸极之尖端放电的问题。