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发明名称
具有可变厚度之雷射辐射薄膜
摘要
一种结晶薄膜包括一第一结晶区其具有一第一薄膜厚度及一第一结晶晶粒结构;及一第二结晶区其具有一第二薄膜厚度及一第二结晶晶粒结构。该第一薄膜厚度大于该第二薄膜厚度且该第一及第二薄膜厚度被加以选择用以提供一结晶区,其具有一装置构件所欲求的结晶程度及方向。
申请公布号
TW200611316
申请公布日期
2006.04.01
申请号
TW093129120
申请日期
2004.09.24
申请人
纽约市哥伦比亚大学理事会
发明人
埃恩詹姆士S IM, JAMES S.
分类号
H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
美国
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