涂布装置

摘要

本发明的目的提供一种在通过基板背面侧的气流中几乎未包含雾状涂布液，且在基板背面不会附着涂布液的涂布装置。本发明的构成当基板W进行旋转且空间S内成为减压状态，则仅纯粹的空气，从基板W的外周缘透过冲压板8而通过雾防护罩10与水平面7之间隙流动，一方面，从基板W的外周缘飞出的线状多余涂布液是通过冲压板8之际被收容而被捕捉在冲压板，有关于雾，虽通过冲压板8，惟在雾防护罩10被捕捉，结果，在从呼吸用开口9朝水平部7上面与基板W下面之间的气流中未包含涂布液及雾，使得涂布液不会附着于基板W的下面。