于扫描离子植入期间之改良之离子束利用

摘要

本发明系关于一种于序列式植入制程中将离子植入一工件之中，以致可产生一和该工件的大小、形状、及／或其它尺寸态样相仿的扫描图案。当一让该工件往复通过的离子束未明显「过冲」该工件时，此作法便可改良效率与产量。不过，该扫描图案可能略大于该工件，俾使于小量的「过冲」内可考量到当该工件反转来回往复的方向时和该工件的方向、速度、及／或加速度等变化相关联的惯性效应。此作法有助于以非常固定的速度来移动该工件通过该离子束，从而有助于达成实质上更均匀的离子植入。