镀膜设备

摘要

一种镀膜设备，其系用以形成至少一镀膜层于一基板上，包括一动力单元、一第一齿轮、至少一传动单元、一承载座以及至少一镀膜源。其中，动力单元系具有一旋转轴心以及至少一悬臂，第一齿轮固定环设于旋转轴心，传动单元包含一第二齿轮、一轴心、一轴承以及一夹具，第二齿轮系与第一齿轮啮合，第二齿轮与夹具分别轴设于轴心，轨心系穿设过固设于悬臂上之轴承，承载座则系承载基板，且夹具系连结于承载座之外围，而镀膜源系用以形成镀膜层于基板上。