发明名称 | 六连杆定位机构 | ||
摘要 | 本发明之六连杆定位机构于运动时,滑设于固定件之垂直滑槽内之驱动滑块系会先顶抵于洁净容器之底座上并相对向上滑移,继而使平行四连杆机构受到驱动连杆之驱动而向上移动,进而驱动平行四连杆机构之第二连杆作横向平移并顶推底座上置设之卡匣内之复数个工件一并作横向移动。因此,藉由前述拘束机构设计,可使整体机构之自由度为1,如此可以点接触之方式而横向平移并顶推卡匣内之工件而使其作横向移动,藉以避免产生摩擦而造成污染,同时,利用所谓之拘束机构设计,可减少晃动而提高六连杆定位机构移动之顺畅性。 | ||
申请公布号 | TW200611309 | 申请公布日期 | 2006.04.01 |
申请号 | TW093128323 | 申请日期 | 2004.09.17 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 陈冠州;吴宗明 |
分类号 | H01L21/02 | 主分类号 | H01L21/02 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |