| 主权项 |
1.一种有机电场发光显示装置之制造方法,其特征 为: 准备具有复数之蒸镀射束通过用筒体,通过该蒸镀 射束通过用筒体放出含有有机电场发光材料之蒸 镀射束之蒸镀射束产生源; 在真空室内配置基板; 接近前述基板的表面,配置具有复数开口部之蒸镀 遮罩;以及 使前述蒸镀射束产生源产生蒸镀射束,而边加热通 过前述蒸镀射束通过用筒体之蒸镀射束,边使前述 蒸镀射束通过前述蒸镀遮罩的开口部提供至前述 基板的表面,藉此于前述基板表面的预定领域蒸镀 有机电场发光材料。 2.如申请专利范围第1项之有机电场发光显示装置 之制造方法,其中,前述蒸镀射束通过用筒体之筒 径与筒长的比在1:5以上。 3.如申请专利范围第1项之有机电场发光显示装置 之制造方法,其中,前述蒸镀射束通过用筒体系在 前述蒸镀射束产生源之长度方向设成一列。 4.一种有机电场发光显示装置之制造方法,其特征 为: 在真空室内配置基板; 接近前述基板的表面,配置蒸镀遮罩; 在与前述蒸镀遮罩相对的位置上配置产生含有有 机电场发光材料之蒸镀射束之蒸镀射束产生源; 在前述蒸镀射束产生源与前述蒸镀遮罩之间,配置 具有复数蒸镀射束通过孔之经加热的蒸镀射束方 向调整板;以及 使蒸镀射束产生源产生含有有机电场发光材料之 蒸镀射束,使该蒸镀射束通过前述复数之蒸镀射束 通过孔以及前述蒸镀遮罩之开口部提供至前述基 板之表面,藉此于前述基板表面的预定领域蒸镀有 机电场发光材料。 5.如申请专利范围第4项之有机电场发光显示装置 之制造方法,其中,前述复数之蒸镀射束通过孔,系 以排成一列之方式设于前述蒸镀射束方向调整板 的长边方向。 6.如申请专利范围第4项之有机电场发光显示装置 之制造方法,其中,前述蒸镀射束方向调整板系由 发热体所构成。 图式简单说明: 第1图为使用于本发明之第1实施形态之有机EL元件 之制造方法之蒸镀射束产生源之斜视图。 第2图为使用于本发明之第1实施形态之有机EL元件 之制造方法之蒸镀射束产生源之剖面图。 第3图为说明本发明之第1实施形态之有机EL显示装 置之制造方法之图。 第4图为说明本发明之第1实施形态之有机EL显示装 置之制造方法之图。 第5A及5B图为说明本发明之第1实施形态之有机EL显 示装置之制造方法之图。 第6图为使用于本发明之第2实施形态之有机EL元件 之制造方法之蒸镀射束产生源之斜视图。 第7图为使用于本发明之第2实施形态之有机EL元件 之制造方法之蒸镀射束产生源之剖面图。 第8图为说明本发明之第2实施形态之有机EL显示装 置之制造方法之图。 第9图为说明本发明之第2实施形态之有机EL显示装 置之制造方法之图。 第10A及10B图为说明本发明之第2实施形态之有机EL 显示装置之制造方法之图。 第11图为传统例之有机EL显示装置之一显示像素之 剖面图。 第12A及12B图为说明传统例之有机EL显示装置之制 造方法之图。 |
