基板运送装置

摘要

本发明之课题系在于提供：针对在臂构件上载置被处理基板，对于基板处理部进行被处理基板的搬入、搬出之基板运送装置，即使为大型被处理基板，也能藉由设置于臂构件上的吸着垫片来确实地吸着基板面，能使基板不会晃动地确实地加以保持之基板运送装置。用以解决课题之手段为：一种基板运送装置，系具备具有复数个吸着垫片56的臂构件51，在前述吸着垫片56上载置被处理基板G，对于基板处理部进行被处理基板G之搬入、搬出之基板运送装置41，其特征为：具备：使前述吸着垫片56振动之振动手段、用来驱动前述振动手段之振动驱动手段57、及进行前述振动驱动手段57的动作控制之控制手段58，前述控制手段58系在将被处理基板G载置到前述吸着垫片56之际，藉由前述振动驱动手段57使前述振动手段作动，而使吸着垫片56振动。