薄膜形成用原料及薄膜制造方法

摘要

本发明之薄膜形成用原料系含有于25℃时为液体之双(β–二酮酸)锌化合物者，适于形成含有锌之薄膜，故而藉由使用该薄膜形成用原料，于原料气体供给性或管线中之原料输送毫无问题，可进行成膜速度或薄膜组成控制稳定之薄膜制造。