具有遮罩清洁功能之蒸镀机台及以其清洁遮罩之方法

摘要

一种除尘装置及具有此除尘装置之蒸镀机台，包括一蒸镀室，一超音波清洁室以及至少一传输装置。蒸镀室内系可利用至少一遮罩对一基板进行蒸镀作业。传输装置系用以在蒸镀室及超音波清洁室之间传递遮罩。于超音波清洁室内，设有一除尘装置，其包括一超音波产生器、一气流吹出器以及一吸尘器。本发明之清洁方法系利用前述之装置，以传输装置将遮罩由蒸镀室取出，送入超音波清洁室中，藉由除尘装置中之超音波产生器产生震波震动遮罩表面之微粒并使微粒易于松动，且由气流吹出器吹出气流将遮罩表面之微粒扬起，并以吸尘器将所扬起之微粒吸除。在遮罩清洁完成后，以传输装置将遮罩送至蒸镀室内进行蒸镀作业。