辐射灵敏性树脂组成物

摘要

一种含有共聚物(A)与二叠氮化合物(B)的辐射灵敏的树脂组成物。其聚物(A)含有衍生自一种不饱和化合物的结构单元(a1)，此种不饱和化合物含有至少由活性亚甲基和活性次甲基组成的组中选择的一种。共聚物(A)含有衍生自含有对光和／或热灵敏反应基团的不饱和化合物的不饱合键的另外一种结构单元(a2)。