发明名称 |
被覆膜形成用组成物,图型形成方法,被覆膜及其去除方法 |
摘要 |
本发明之被覆膜形成用组成物,其系含有(A)式(1)、(2) X–Y–SiZ3 (1)(Z表示水解性基,X表示未被取代之羟基、取代或未取代之环氧基、取代或未取代之有机交联性官能基,Y表示单键或2价(与构成环氧基之2个碳的两者结合时为3价)之烃基) RnSiZ4–n (2)(Z表示水解性基,R表示氢原子或1价烃基,n为0~3的整数)所示之水解性矽烷的共水解缩合物,可以式(1)之有机交联性官能基进行交联反应之矽酮树脂(B)交联剂(C)酸产生剂(D)有机溶剂。若依本发明之组成物,可得到保存安定性,填充特性、密黏性、涂膜之均一性优,且对剥离液之溶解性高之被覆膜。 |
申请公布号 |
TW200611075 |
申请公布日期 |
2006.04.01 |
申请号 |
TW094118918 |
申请日期 |
2005.06.08 |
申请人 |
信越化学工业股份有限公司;国际商业机械公司 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 美国 |
发明人 |
滨田吉隆;荻原勤;岩渊元亮;浅野健;上田贵史;达克 菲佛尔 |
分类号 |
G03F7/004;G03F1/14 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
主权项 |
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地址 |
日本 |