遮罩毛胚及其制造方法,暨转印模板之制造方法

摘要

本发明之目的在于，防止在遮罩毛胚或遮罩之制造步骤中或者是在保管．搬送．输送时等，发生异物直接附着于基板表面等而引起不便之可能性。本发明系在形成有遮罩机能薄膜及／或使用于遮罩制造制程之薄膜之侧之遮罩毛胚之主表面上，不接触到形成遮罩图案之有效区域，且将接触于非有效区域并形成密闭空间之盖形状之防尘保护具，可卸除地予以固定。