| 摘要 |
一种低温快速制造准直性奈米碳管之方法，可在低于380℃环境下快速制造高分布密度与高准直性之奈米碳管。该方法包含：(A)在一基板顶面被覆一铁矽合金薄膜作为成长奈米碳管所需之催化剂。(B)蚀刻该铁矽合金薄膜，而于该基板顶面形成适当密度分布之复数细微铁矽合金颗粒。及(C)在低于380℃微波电浆辅助化学气相沉积系统中，通入预定流量及适当比例之含碳反应气体与平衡气体，在适当的工作压力下，于该等铁矽合金颗粒上成长垂直于该基板顶面的奈米碳管，微波功率为250～1500 W，工作压力为20～40 Torr。 |
