半导体错误分析系统及方法以及电脑可读取储存媒体

摘要

一种半导体错误分析系统及方法。储存装置储存多笔测试纪录。程式模组接收晶圆批次识别码当做研究批次识别码，取得至少一个相应于研究批次识别码之怀疑制造因素，取得一定数目之比较批次识别码，比较研究批次识别码之测试纪录以及比较批次识别码之测试纪录，用以发掘具有研究批次识别码之一个相似错误之上述比较批次识别码，为每一个拥有相似错误之比较批次识别码计算一个相似分数，并且依据具有相似错误之比较批次识别码之相似分数，为每一个怀疑制造因素计算一个因果关系分数。