Verfahren zur Strukturierung eines Substrats und Vorrichtung hierzu

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung eines Substrats, bei dem über dem Substrat mindestens eine Maske mit einer Öffnung angeordnet ist und unmaskierte Bereiche gegenüber maskierten Bereichen des Substats zur Bildung von Strukturen verändert werden. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass während des Verfahrens die Abbildung der Maskenöffnung auf und/oder in dem Substrat kleinere Abmessungen aufweist als die Abmessung der Maskenöffnung. DOLLAR A Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist offenbart.