发明名称 Scanneranordnung und Verfahren zum optischen Abtasten eines Objektes
摘要 Eine Scanneranordnung (50), insbesondere ein Scanning-Mikroskop, zum optischen Abtasten eines Objekts (101) in einer Folge von Abtastschritten, weist auf: einen antreibbaren, bewegbaren Objekttisch (40) und ein Scannerobjektiv (4, 7-10), welches eine Frontobjektivlinse (9, 103) an einem Objektivlinsenschlitten (8) aufweist, welcher von einem Schlittenantrieb (5, 6, 10, 11) parallel zu dem Objekttisch (40) bewegbar ist, wobei der Objekttisch (40) für eine durchgehend kontinuierliche Bewegung während der Folge von Abtastschritten antreibbar ist und der Objektivlinsenschlitten (8) mit der Frontobjektivlinse (9, 103) in jedem der Abtastschritte für einen Vorbewegungsschritt, in welchem die Frontobjektivlinse (9, 103) aus einer Ausgangsstellung heraus synchron mit dem Objekttisch (40) mitbewegt wird, und jeweils zwischen aufeinander folgenden Abtastschritten für eine Rückbewegung in die Ausgangsstellung antreibbar ist, wobei das optische Abtasten des Objekts (101) während der kontinuierlichen Bewegung des Objekttischs (40) durchführbar ist.
申请公布号 DE102004042913(A1) 申请公布日期 2006.03.30
申请号 DE200410042913 申请日期 2004.09.02
申请人 WESTFAELISCHE-WILHELMS UNIVERSITAET MUENSTER 发明人 FREKERS, DIETER;WACHSMANN, CHRISTIAN;AKSIT, ISHAK
分类号 G02B26/10;G02B21/24 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人
主权项
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