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发明名称 Polierzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE60109664(T2) 申请公布日期 2006.03.30
申请号 DE20016009664T 申请日期 2001.01.31
申请人 FUJIMI INC., AICHI;FUJIMI CORP., WILSONVILLE 发明人 INA, KATSUYOSHI;RADER, SCOTT W.;SHEMO, DAVID M.;HORI, TETSUJI
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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