| 发明名称 |
Verfahren zur Steuerung einer Trägerplatte, Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60025306(D1) |
申请公布日期 |
2006.03.30 |
| 申请号 |
DE20006025306 |
申请日期 |
2000.03.06 |
| 申请人 |
CANON K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
FUJITA, CANON KABUSHIKI KAISHA |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/68;G03F7/22;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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