发明名称 A METHOD FOR FORMING METAL CONTACT IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100566310(B1) 申请公布日期 2006.03.30
申请号 KR19990047728 申请日期 1999.10.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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