Vorrichtung und Verfahren zum Homogenisieren von Laserstrahlung sowie eine Laseranlage unter Verwendung einer solchen Vorrichtung und eines solchen Verfahrens

摘要

Eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Homogenisieren von Laserstrahlung mit einem Homogenisierer sehen vor, dass die relative Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer oder eine Wirkung des Homogenisierers gemessen werden, um in Abhängigkeit von dem Messsignal die genannte relative Lage und/oder Richtung einzustellen.