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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100565128(B1) 申请公布日期 2006.03.30
申请号 KR20030048603 申请日期 2003.07.16
申请人 发明人
分类号 C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 C23C16/509
代理机构 代理人
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