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In einem Thermo-Strömungsratensensor ist ein Formgießmaterial (50) so zu einer Form gegossen, dass ein vorbestimmter Abschnitt zusammenhängend bedeckt ist, der einen Schaltungschip (20), Verbindungsteile von Verbindungsdrähten (60) mit einem Strömungsratenerfassungschip (10) und dem Schaltungschip (20) und Verbindungsteile von Verbindungsdrähten (61) mit dem Schaltungschip und einem Zuleitungsabschnitt (30) enthält, so dass ein Teil des Strömungsratenerfassungschips einem Messfluid ausgesetzt ist. Der Strömungsratenerfassungschip ist in einem Vertiefungsabschnitt (41) eines Stützelements so ausgebildet, dass mit dem Vertiefungsabschnitt ein Zwischenraum (42) gebildet wird und dass in einem dünnwandigen Abschnitt (12) des Erfassungschips (10) ein Hohlraumteil gebildet wird. Der Hohlraumteil ist über einen Verbindungsabschnitt, der den Zwischenraum (42) enthält, mit einem Außenbereich verbunden und der Zwischenraum (42) ist durch einen Füller (44) wenigstens bei einem Abschnitt, der sich in dem vorbestimmten Bereich befindet, blockiert. Daher verhindert der Füller (44), dass das Formgießmaterial während des Gießprozesses in den Zwischenraum eindringt.
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