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发明名称 Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE60025297(D1) 申请公布日期 2006.03.30
申请号 DE2000625297 申请日期 2000.09.14
申请人 JSR CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 DOUKI, KATSUJI;MURATA, KIYOSHI;ISHII, HIROYUKI;KAJITA, TORU;SHIMOKAWA, TSUTOMU
分类号 G03F7/027;G03F7/039;G03F7/004 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
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