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发明名称
摘要
申请公布号	NL7400050(A)	申请公布日期	1974.08.28
申请号	NL19740000050	申请日期	1974.01.03
申请人		发明人
分类号	H01L21/326;H01L21/3105;H01L21/321;(IPC1-7):B23P1/02;H01L7/00	主分类号	H01L21/326
代理机构		代理人
主权项
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