透镜检查装置及检查片

摘要

提供一种能简单且廉价地实施透镜分辨率评估的透镜检查装置及检查片。透镜检查装置配有形成有测试图TP的检查片450、保持检查片450的滑动保持部443、把光束导入被保持在滑动保持部443内的检查片450的测试图TP部分上的光源、用于保持滑动保持部443在平面内自由旋转的旋转保持部442、对通过检查片450及测定对象的投影透镜被投射到屏面上的图像进行摄像并实施图像处理的测定部。测试图TP具有为成为规定的空间频率其线状遮光部PTL配置成条状的测定区。通过使旋转保持部442旋转，可简单地评估外延方向各异的测试图TP的分辨率。

主权项

1.一种透镜检查装置，其为评估透镜的分辨率，把包含分辨率测定用测试图的图像光通过上述透镜投射到屏面上，在上述屏面上显示上述分辨率测定用测试图的图像，实施上述透镜的检查，配有：形成了分辨率测定用测试图的检查片；保持该检查片的检查片保持单元；在被保持在该检查片保持单元内的检查片的测试图部分上导入光束的光源；包含对通过上述检查片被投射到上述屏面上的图像进行摄像的摄像元件的图像光检测部，上述测试图具有为使透过光具有规定的空间频率，将线状遮光部按条状配置的测定区，上述检查片保持单元具有根据上述检查片的测试图部分形成透光部，把上述检查片确定在上述透镜的焦点位置上的保持单元本体，上述透镜检查装置的特征在于：上述检查片保持单元还配有保持上述检查片在平面内相对上述保持单元本体自由旋转的旋转保持部。