| 发明名称 | 碱性加工液、加工液的配制方法及其装置以及加工液的供给方法及其装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种碱性加工液及其供给装置等，其能减少加工处理时的液体使用量和废液生成量，对曝光后的光致抗蚀剂等有机膜的溶解性好。本发明的显影液供给装置的组成如下：显影处理装置通过配管与接受槽连接，在接受槽后段连续设计了过滤器等的前处理部分、调整槽以及均一化槽等。另外，调整槽中，溶液供给系统和控制装置相连接，利用浓度计得到的实测值，调节使用后的液体中溶解的光致抗蚀剂成分和碱成分的浓度为一定值。将得到的再生液通过配管输送到显影处理装置中。 | ||
| 申请公布号 | CN1248051C | 申请公布日期 | 2006.03.29 |
| 申请号 | CN02130318.5 | 申请日期 | 2002.08.16 |
| 申请人 | 株式会社平间理化研究所;长濑产业株式会社;长濑CMS科学技术株式会社 | 发明人 | 中川俊元;片桐优子;小川修;森田悟;菊川诚;宝山隆博 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01);G03F7/30(2006.01) | 主分类号 | G03F7/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王健 |
| 主权项 | 1.一种碱性加工液，用于涂布在基体上的光致抗蚀剂的加工，其特征在于，与作为显影对象的光致抗蚀剂相同或相异的光致抗蚀剂成分溶解在该碱性加工液中，上述光致抗蚀剂成分的溶解浓度为0.001～2.0质量％，且上述碱性加工液中含有碱性成分0.1～2.5质量％。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||